洁净房的标准是什么?

洁净房的标准是什么?请懂的说下
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46967 次浏览 2024-05-31 提问
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2024-06-02 15:18:55 回答

洁净室等级标准  
ISO/DIS  14644-1  洁净室和洁净区按空气中悬浮粒子浓度的分级  
ISO分级  大于等于表中所列粒径悬浮粒子最大允许浓度(颗/m3)  
0.1μm  0.2μm  0.3μm  0.5μm  1μm  5μm  
ISO1级  10  2              
ISO2级  100  24  10  4        
ISO3级  1000  237  102  35  8     
ISO4级  10000  2370  1020  352  83     
ISO5级  100000  23700  10200  3520  832  29  
ISO6级  1000000  237000  102000  35200  8320  293  
ISO7级           352000  83200  2930  
ISO8级           3520000  832000  29300  
ISO9级           35200000  8320000  293000

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